技术指标： AFS 1 自聚焦传感器 测量范围：±500/±50μm 最大垂直分辨率：1μm 最大水平分辨率：1μm 工作距离：约2mm 光斑直径：约0.5μm 最大测量频率：10－1000Hz 波长：635nm 激光等级：1 测量工作台 X,Y轴最大行程：100×100mm 最小步距尺寸：0.5μm 相对直线度（各轴大于100mm范围内）：＜±2μm 平面度（XY平面大于100mm范围内）：＜±４μm

   系统简介：

    SMS EXPERT 专家测量系统是一个非接触式测量和分析物体表面参数、形貌的光、电三维测量系统。系统基本配置包括一个带有大理石桥的精密测量台，手动传感器校准装置，ＸＹ移动工作台，自聚焦传感器盒一个系统控制器。测量系统的操作和控制以及测量数据的采集和分析，是通过在WINDOWS XP下运行的专利产品BMT三维软件包完成的。系统采用自聚焦技术，在垂直方向测量精度很高，高度对测量精度无影响，而且操作简单。

    功能与用途 ：

    系统适合测量各种材料（金属，塑料，半导体，纸张等）表面，可以广泛运用于汽车、电子、机械、医药、玻璃、造纸等行业。该系统可以同时测量各种表面的形貌和反射率，从而可以计算出表面的粗糙度、弯曲度、平整度等形貌参数。