型号  1530VP

     IntelliSuite是目前世界上功能齐全、最常用的MEMS专用软件之一。它拥有多个专业模块，功能包含MEMS器件的设计、工艺和仿真等。目前清华研发平台配备的软件中含有八大模块.

    该系统为计算机全自动控制系统，其极好的程控功能，可重复性、多样性、准确性加改等都大大拓展了科研设计的自由空间。该系统同时接受CAD 等软件制图，由电脑自动完成加工。而且兼有遥控操纵杆控制，使操作变得更加灵活、方便。专利的激光光路设计，以及激光的恒定能量输出功能，有力的保证激光微加工的精确性和一致性。同时系统包含有CCD 监控系统，随时监测加工效果，改变加工位置。