技术指标：         分辨率          点分辨率：0.23nm                 条纹分辨率：0.10nm 电子能量分辨率   1.5eV（电子能量损失谱）                 20eV（成像模式）                 10eV（电子衍射模式） 最高加速电压     200kV 最高放大倍数     1,500,000× 最小电子束斑尺寸 0.5nm

    设备特点 ：

           ·热场发射电子枪，适用于材料的高分辨和高空间分辨的观察。

           ·配置Ω能量过滤器，可分别获得弹性散射和非弹性散射的信息。

           ·高分辨物镜极靴，可获得纳米尺度材料的形貌、结构和成分信息。

           ·配备高角度环形暗场探测器，可获得Z衬度像。

           ·配置超薄窗口的X射线能谱仪。

    功能 ：纳米尺度的高分辨和高空间分辨观察。

    用途 ：适用于先进材料微区、微量相的形貌、结构及成分的综合分析。

　

GaAs/AlAs的原子结构像，可显示原子尺度的结构变化	Cu72.5Pd27.5的电子衍射花样 a,b：能量过滤前 c,d：能量过滤后