化学气相沉积系统
Chemical Vapour Deposition System
型号
CVD-1000
技术指标
:
加热温度:高温区1250℃,精度± 5℃
低温区500℃,精度± 1℃
压力:0.1~100 KPa,连续可调
用途 :
用于制备纳米管和纳米线